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SYproAUTO是全自动的冷却风环,整个风环北分割成多个风室。每个风室的阀门开关都由步进马达控制。
SYpro AUTO自动风环与监控软件连为一体。它可以根据测厚系统提供的测量资料进行调整。当厚度比设定值偏高时,步进马达进入相应部分的气流来降低薄膜厚度。同样,当厚度比设定值偏低时,步进马达会增加进入相应部分的气流来增加薄膜的厚度。
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